OPF系列氣浮隔振光學平臺，主要應用于高分辨成像、激光掃描、激光干涉、2D/3D Mapping、生物醫(yī)療等對振動有非常高要求的儀器設備等。整體分為臺面、氣浮支架、氣泵三部分，臺面采用焊接式蜂窩結構（非膠粘），穩(wěn)定牢固，無松動、開裂、脫落等困擾，且環(huán)保無害。上臺面材料選用SUS430高導磁不銹鋼，具有很好的耐腐蝕性能。氣浮式支架采用隔振性能優(yōu)異的膜式空氣彈簧，支撐腿內部采用二級氣室隔離，高阻尼小孔，隔振性能良好，穩(wěn)定輕松調節(jié)，結構穩(wěn)定可靠。自動平衡，自動充氣全部氣動執(zhí)行元件采用進口產品。

技術參數(shù)：

· 固有頻率：＜1.2～2Hz

· 隔振效率：水平隔振88%-95%@5Hz，90%-95%@10Hz；

垂直隔振85%-90%@5Hz，90%-95%@10Hz

· 重復定位精度：±0.10mm

· 臺面材料：SUS430（1Cr17）高導磁不銹鋼，不易生銹

· 臺面厚度：100/200/250mm

· 平面度：≤0.05mm/m²

· 臺面粗糙度：≤0.8μm，局部可達0.4μm

· 氣浮支架：雙層氣室，3個進口真空管水平調節(jié)閥，高穩(wěn)定四或六支撐腿；

每個氣浮腿上面都配有氣囊裝置限位保護器，延長氣囊使用壽命

· 無油氣泵：噪音＜46db，0.2-0.4MPa

· 總高度~800mm，總高度可調范圍：~±20mm

· 孔間距：25mm（機械打孔）

· 孔徑：M6螺紋孔

細節(jié)圖：

進口水平調節(jié)機構 低噪聲無油氣泵 氣囊限位/保護裝置 臺面粗糙度

主要結構特性：

選型表：

部分客戶案例：

廈門大學（規(guī)格：2400*1800*800mm）

松山湖材料實驗室（規(guī)格：1500*1200*800mm）